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    氣相/液相渗硅炉 先進陶瓷
    底升式碳管烧结炉是理想的气相、液相渗硅炉
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    用途：

    底升式碳管燒結爐，底部出装料是理想的碳基材料气相、液相渗硅炉.

    主要配置：

    1.立式炉体，双层炉体结构，水冷夹套设计。

    2.炉膛内石墨碳管发热体，保温层，测温、监测热电偶等组成。

    3.出、装料盘装在炉底由电机驱动升降，便于出、装料。 

    4.PLC加触摸屏操作方式，有报警功能，自动化程序高,安全可靠

    主要技術參數:

    1.工作区：Ø300X500mm

    2.高温度：2000℃

    3.工作温度：1650℃

    4.极限真空度：5X10-3Pa

    5.保护气氛氮或氩气



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