氣相滲透爐CVD/CVI 气相沉积/渗透炉-上海K8凯发国际科技股份有限公司

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氣相滲透爐 先進陶瓷

气相渗透炉

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產品詳情

一、設備用途：

氣相滲透爐主要用於CVD和CVI工艺制备C/C、C/SIC及SIC/SIC复合材料，力学性能优异，

適用於航空航天級別碳基及SIC基复合材料，该设备可用于纵项目SIC包壳管的研制。

C/C复合材料，C/SIC陶瓷基复合材料，热解碳涂层，SIC涂层，以及SIC/SIC复合材料制备。

二、設備特點：

1 立式结构，双层水冷结构设计，炉壳用耐腐蚀材料制成。

2 獨特的內罩進排氣結構，热场温度均匀性好。

3 氣氛控制精確，真空系统配有过滤器，可选配尾气处理系统。

4 控制系統採用PLC加触摸屏控制方式，操作方便，简单。

5 主要電器元件採用施耐德及歐姆龍品牌，性能稳定、可靠。

三、主要技術參數：

No.	型號	工作區尺寸	高溫度	真空度	壓升率	溫度均勻性	功率
1	ZT-60-13	Ø300X600mm	1300℃	1-100Pa	0.67(Pa/h)	±10℃	48KW
2	ZT-145-13	Ø500X1500mm	1300℃	1-100Pa	0.67(Pa/h)	±10℃	135KW
3	ZT-160-13	Ø600X1500mm	1300℃	1-100Pa	0.67(Pa/h)	±10℃	160KW
4	ZT-240-13	Ø800X1500mm	1300℃	1-100Pa	0.67(Pa/h)	±10℃	240

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