一、設備用途：
用做石墨或碳碳表面的碳化硅塗層、碳碳复合涂层。
用途廣泛 如：
1 碳碳复合涂层：光伏晶体炉的热场材料
2 石墨涂层：LED蓝宝石衬底MOCVD的石墨托盘
二、設備特點：
1 立式结构，炉壳用耐腐蚀材料制成。
2 独特的内罩进排气结构，热场温度均匀性好。
3 气氛控制精确，真空系统配有过滤器，可选配尾气处理系统。
4 主要电器元件采用施耐德及欧姆龙品牌，性能稳定、可靠。
5 配备出、装料料车，方便操作及出装料，提高工作效率。
三、主要技術參數：
| No. | 型號 | 工作區尺寸（ØXH）mm | 高溫度 (℃) | 真空度 (Pa) | 壓升率 (Pa/h) | 溫度均勻性 (℃) | 功率 （KW） |
| 1 | ZT-60-15 | 300X500 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±10 | 60 |
| 2 | ZT-145-15 | 600X800 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±10 | 145 |
| 3 | ZT-220-15 | 800X1000 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±15 | 220 |
| 4 | ZT-270-15 | 1000X1500 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 275 |
| 5 | ZT-550-15 | 1500X2000 | 1500 | 1-100 | 0.67 | ±20 | 550 |
爐膛尺寸可按要求定做
在線諮詢客服
